排除晶圆制造过程中的风险
独立的边缘DAQ智慧真空泵浦监测方案
半导体晶圆制造的生产质量和产能至关重要，以确保所有工艺设备处于最佳状态。例如，如果扩散过程中使用的低压化学气相沉积 (LPCVD) 系统的真空泵浦或离子注入机提供的真空不足或出现故障，导致背压将空气和外来颗粒推入腔室，造成整个晶圆可能需要报废。针对这些问题，凌华科技的智慧真空泵浦监测方案可以帮助半导体制造商排除意外停机的风险并优化设备管理。
凌华科技的优势
凌华科技Edge DAQ具备优化的边缘运算能力，可就地处理数据，支持多种数据格式。
凌华科技 Edge DAQ 可以使用两个具有交换功能的嵌入式以太网端口进行菊花链连接，以节省高达 70% 的部署成本。
凌华科技Edge DAQ 支持 TCP/IP 和 Modbus TCP 协议，无需额外的协议网关即可将现场数据发送到 SCADA 系统或 PLC，最多可节省 50% 的协议整合成本。
凌华科技 Edge DAQ 内建网络控制面板，工程师可以随时随地进行远程更新和配置。
