
ウェーハ製造から
リスクを除外
インテリジェントなドライポンプ
監視ソリューションを可能にする
スタンドアロンのエッジDAQ
半導体製造では、ウェーハ製造の品質と歩留まりを追求するために、すべてのプロセス機器を最良の状態に保つことが重要です。例えば、低圧化学気相成長(LPCVD)システムや拡散プロセスで使用されるイオン注入装置のドライポンプが不十分な真空を提供したり、故障したりして、空気や異物をチャンバー内に押し込む背圧が発生した場合、ウェーハの全ランを廃棄しなければならない可能性があります。これらの問題に対処するために、ADLINKのドライポンプ監視ソリューションは、半導体メーカーが予期せぬシャットダウンのリスクを排除し、設備管理を最適化するのに役立ちます。
なぜADLINKなのか?
ADLINKのエッジDAQは、データをローカルに処理するために最適化されたエッジコンピューティング機能を備え、複数のデータフォーマットをサポートしています。
ADLINKのエッジDAQは、スイッチング機能を備えた2つの内蔵イーサネットポートを使用してデイジーチェーン接続が可能で、導入コストを最大70%削減できます。
ADLINKのエッジDAQは、TCP/IPとModbus TCPプロトコルをサポートしており、プロトコルゲートウェイを追加することなく、SCADAシステムやPLCにフィールドデータを送信することができ、プロトコル統合コストを最大50%削減することができます。
ADLINKのエッジDAQにはWebコンソールが内蔵されているので、エンジニアはいつでもどこでもリモートアップデートや設定を行うことができます。
実証済みの導入事例
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インテリジェントなポンプモニタリング
ADLINKのポンプモニタリングソリューションにより、ユーザーは、ウェーハの供給と品質の歩留まりを確実にし、ダウンタイムのリスクを低減し、機器の運用とメンテナンスにかかる総コストを最小限に抑えることができます。
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スマートファクトリーのためのデータ収集
ある韓国の半導体メーカーは、真のスマートファクトリーを構築するために、設備や環境に関する包括的なデータを収集するために、中国で最近拡張された施設にADLINKのエッジDAQシステムを導入しました。
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