
排除晶圓製造過程中的風險
獨立的邊緣 DAQ 智慧真空泵浦監測方案
半導體晶圓製造的生產品質和產能至關重要,以確保所有工藝設備處於最佳狀態。例如,如果擴散過程中使用的低壓化學氣相沉積 (LPCVD) 系統的真空泵浦或離子注入機提供的真空不足或出現故障,導致背壓將空氣和外來顆粒推入腔室,造成整個晶圓可能需要報廢。針對這些問題,凌華科技的智慧真空泵浦監測方案可以幫助半導體製造商排除意外停機的風險並優化設備管理。
凌華科技的優勢
凌華科技Edge DAQ具備優化的邊緣運算能力,可就地處理數據,支援多種數據格式。
凌華科技 Edge DAQ 可以使用兩個具有交換功能的嵌入式乙太網連接埠進行菊花鏈連接,以節省高達 70% 的部署成本。
凌華科技Edge DAQ 支援 TCP/IP 和 Modbus TCP 協議,無需額外的協議閘道即可將現場數據發送到 SCADA 系統或 PLC,最多可節省 50% 的協議整合成本。
凌華科技 Edge DAQ 內建網絡控制台,工程師可以隨時隨地進行遠端更新和配置。